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학술대회자료
Low temperature growth of carbon nanotube by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) using nickel catalyst
- 김성진 전철규 이해영
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 1999년도 추계 기술심포지움 논문집
- 1999.11
- 33 - 36 (4 pages)