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학술대회자료
MOCVD Deposition of AlN Thin Film for Packaging Materials
- 임욱 이우성 조현민 유찬세 강남기 박종철
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 1999년도 추계 기술심포지움 논문집
- 1999.11
- 59 - 63 (5 pages)