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학술대회자료
Packaging MEMS, The Great Challenge of the 21st Century
AIN Thin Film Growth using Noble Single Precursor by MOCVD
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 1999년도 추계 기술심포지움 논문집
- 1999.11
- 91 - 95 (5 pages)