학술대회자료
Flip Chip Technologies
Deposition of SiCxNy thin film as a X-ray mask membrane for LIGA using ECR plasma CVD
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2000년도 추계 기술심포지움 논문집
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2000.1131 - 34 (4 pages)
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