커버이미지 없음
학술대회자료
Flip Chip Technologies
Deposition of SiCxNy thin film as a X-ray mask membrane for LIGA using ECR plasma CVD
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2000년도 추계 기술심포지움 논문집
- 2000.11
- 31 - 34 (4 pages)