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학술대회자료

Pt 박막의 $SF_6/Ar과 Cl_2/Ar4$ 수식 이미지 플라즈마 가스와의 표면반응에 관한 연구

Study on the Surface Reaction of Pt thin Film with $SF_6/Ar and Cl_2/Ar$ 수식 이미지 plasma gases

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