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학술대회자료
Pt 박막의 $SF_6/Ar과 Cl_2/Ar4$ 수식 이미지 플라즈마 가스와의 표면반응에 관한 연구
Study on the Surface Reaction of Pt thin Film with $SF_6/Ar and Cl_2/Ar$ 수식 이미지 plasma gases
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2001년도 The IMAPS-Korea Workshop 2001 Emerging Technology on packaging
- 2001.07
- 110 - 113 (4 pages)