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학술대회자료
광식각 기술을 이용한 미세라인의 형성 및 Series Resonator의 구현
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2001년도 The IMAPS-Korea Workshop 2001 Emerging Technology on packaging
- 2001.07
- 151 - 156 (6 pages)