학술대회자료
ECR 플라즈마를 사용한 백금 박막의 식각 매카니즘에 관한 연구
Study on Etching Mechanism of Platinum thin film using Electron Cyclotron Resonance Plasma
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2001년도 추계 기술심포지움
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2001.11161 - 164 (4 pages)
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