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학술대회자료
AIN박막을 이용한 SAW소자의 제조
Fabrication of SAW device by using AIN thin films
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2001년도 추계 기술심포지움
- 2001.11
- 165 - 170 (6 pages)