학술대회자료
ICPHFCVD법에 의한 탄소나노튜브의 생장 및 I-V 특성에 관한 연구
A Study on the Growth of Carbon Nanotube by ICPHFCVD and their I-V Properties
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2002년도 춘계 기술심포지움 논문집
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2002.05158 - 164 (7 pages)
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