학술대회자료
테이프캐스팅에 의한 결정화유리 도포형 정전척의 제조
Fabrication of Glass-Ceramic Coacted Electrostatic Chucks by Tape Casting
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2002년도 춘계 기술심포지움 논문집
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2002.05169 - 172 (4 pages)
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