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학술대회자료
질소와 진공 분위기에서 에이징 영향에 따른 불화유기박막의 나노트라이볼러지 특성 평가
Nanotribological Characterization of Annealed Fluorocarbon Thin Film in N2 and Vacuum
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2002년도 춘계 기술심포지움 논문집
- 2002.05
- 193 - 197 (5 pages)