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학술대회자료
MOCVD를 이용한 Hafnium Oxide 박막 증착
The Deposition of Hafnium Oxide Thin Film using MOCVD
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2002년도 춘계 기술심포지움 논문집
- 2002.05
- 198 - 202 (5 pages)