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학술대회자료
코발트실리사이드 박막을 이용한 발열 엑츄에이터의 제작
Fabrication of Heating Actuator Using Cobalt Silicided Thin Films
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2002년도 춘계 기술심포지움 논문집
- 2002.05
- 234 - 237 (4 pages)