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학술대회자료
알루미나와 실리카/실리콘 기판의 계면 분석
Analysis of Interfacial Layer between Alumina and Silica/Silicon Substrate
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2002년도 춘계 기술심포지움 논문집
- 2002.05
- 252 - 254 (3 pages)