학술대회자료
고밀도 유도결합 $C1_2CF_4Ar$ 수식 이미지 플라즈마를 이용한 $CeO_2$ 수식 이미지 박막 식각후 표면반응에 관한 연구
An Investigation on the Surface Reactions after the Etching of $CeO_2$ 수식 이미지 Thin Films using High Denstity Inductively Coupled $C1_2CF_4Ar$ 수식 이미지Ar Plasmas
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2002년도 춘계 기술심포지움 논문집
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2002.05255 - 258 (4 pages)
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