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학술대회자료
다이아몬드 CVD 증착에 의한 세라믹 CMP Conditioner의 Conditioning 거동
The Conditioning Behaviors of Diamond CVD Deposited Seramic CMP Conditioner
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2002년도 춘계 기술심포지움 논문집
- 2002.05
- 270 - 273 (4 pages)