학술대회자료
ECR 플라즈마를 이용한 Ru 박막의 식각특성
Caracteristic of Ru thin films using ECR Plasma
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2002년도 추계기술심포지움논문집
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2002.11123 - 127 (5 pages)
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