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학술대회자료
Mo/Si 다층박막의 반사도에 영향을 미치는 인자 연구
Factors affecting the Reflectivity of Mo/Si Multilayer
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2002년도 추계기술심포지움논문집
- 2002.11
- 185 - 189 (5 pages)