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학술대회자료
반도체 공정에서의 신뢰성 연구 - 구리 배선의 신뢰성
Intrinsic Reliability Study of ULSI Processes - Reliability of Copper Interconnects
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2002년도 추계기술심포지움논문집
- 2002.11
- 7 - 12 (6 pages)