학술대회자료
n형 4H-SiC의 Cu/Si/Cu 오옴성 접합
Cu/Si/Cu Ohmic contacts to n-type 4H-SiC
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2002년도 추계기술심포지움논문집
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2002.1173 - 77 (5 pages)
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