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학술대회자료
실리사이드 제조공정에 따른 CMOS의 전기적 특성 비교
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2001년도 추계 기술심포지움
- 2001.11
- 209 - 212 (4 pages)
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