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학술대회자료
광 저장장치용 마이크로 미러 엑츄에이터
- 김종완 서화일 이우영 임경화 김영철
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2001년도 추계 기술심포지움
- 2001.11
- 222 - 225 (4 pages)