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학술대회자료
PECVD와 ICP에 의해 증착된 불화유기박막의 나노트라이볼러지 특성 비교분실
- 김태곤 이수연 박진구 신형재
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2001년도 추계 기술심포지움
- 2001.11
- 226 - 229 (4 pages)