학술대회자료
PECVD와 ICP에 의해 증착된 불화유기박막의 나노트라이볼러지 특성 비교분실
Comparative Analysis of Nanotribological Characterization of Fluorocarbon Thin Film by PECVD and ICP
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2001년도 추계 기술심포지움
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2001.11226 - 229 (4 pages)
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