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학술대회자료
재생된 옥사이드 CMP 슬러리의 물리적, 화학적 특징에 대한 연구
Physical and Chemical Characterization of Recycled Oxide CMP Slurry
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2001년도 추계 기술심포지움
- 2001.11
- 235 - 239 (5 pages)