공기막의 스퀴즈효과를 고려한 마이크로미러 설계에 관한 연구

A Study on the Design of the Micro-Mirror Considering the Squeeze Effects of Gas Film

본 연구에서는 전극판에 깊은 홈을 가지고 전기적으로 구동 되는 마이크로미러에 대한 감쇠 특성을 고찰하였다. 유한요소법을 사용하여 마이크로미러의 공기막과 구조물 변위가 커플된 시뮬레이션이 본 연구에 적용되었다. 감쇠력은 구동 되는 미러판과 전극판 사이 공기막의 스퀴즈효과에 의해 발생한다. 전극판의 홈은 감쇠력을 감소시키며, 미러판을 낮은 전압dptj 고속 구동할 수 있도록 하여주며 정밀제어가 가능하도록 하여 준다.

In this paper, the damping characteristics for electrostatically driven micro mirror which have deep grooves on their driving electrodes were investigated. A coupled simulation of gas flow and structural displacement of the micro mirror using the Finite-Element-Method is applied to this. The damping farce is caused by squeeze action of the gas film between a moving mirror plate and the electrodes. The grooves decrease the damping force and enable the moving plate to be driven at high speed and low driving voltage.