LTCC RF 모듈용 BaO-Nd₂O₃-TiO₂계 세라믹스의 저온소결 및 마이크로파 유전특성

Sintering and Dielectric Properties of BaO-Nd₂O₃-TiO₂ Microwave Ceramics for LTCC RE module

BaO-Nd₂O₃-TiO₂계 유전체 세라믹스에 lithium borosilicate계 유리를 첨가하여 저온소결특성과 마이크로파 유전특성을 조사하였다. 유리 프릿을 10∼l3 wt%의 범위로 첨가함으로서 순수한 BaO-Nd₂O₃-TiO₂계 세라믹스의 소결온도(1300℃)보다 현저히 낮은 850∼900℃의 온도범위에서 상대밀도 97%이상의 소결체를 얻을 수 있었다. 10 wt%의 유리 프릿을 첨가함으로서 850℃의 소성온도에서 유전율(ε_r)54 및 품질계수(Q×f)2400 GHz그리고 공진주파수의 온도계수(τf)는 +8ppm/℃으로서 우수한 유전 특성을 가지는 소결체를 얻을 수 있었다.

The effects of glass addition on the low-temperature sintering and microwave dielectric properties of BaO-Nd₂O₃-TiO₂ dielectric ceramics were studied. When 10∼13 wt% of lithium borosilicate glass was added, the sintering temperature decreased from 1300℃to 850-900℃relative density of more than 97% was obtained. When the sample was sintered at 850℃ with 10 wt% of glass, the dielectric properties of εr≥54, Q×f₀≥2300, and τf≤+8ppm/℃ were obtained. BaO-Nd₂O₃-TiO₂;low temperature sintering;lithium borosilicate glass;LTCC