Pd 및 CNT 첨가에 따른 SnO₂ 박막의 이산화질소 감지특성

NO₂ gas sensing properties of SnO₂ thin films dopped with Pd and CNT

이산화질소를 감지할 수 있는 센서물질로 Pd과 탄소 나노튜브(CNT)가 첨가된 SnO₂ 박막을 스핀코팅으로 제조하였으며, 동 시편의 이산화질소에 대한 감지 특성을 200℃ 및 1ppm~5ppm의 NO₂ 농도 하에서 측정하였다. 센서시편의 전기저항은 NO₂ 기체의 노출과 농도에 따라 증가 하였으며, Pd이 3wt%로 첨가된 시편의 감도는 26.5로 첨가전의 감도에 비하여 10배 증가하였다. 또한 SnO₂ 모체에 첨가한 CNT의 량에 따라서도 감도는 증가 하였으며, 0.225wt% CNT 첨가 시 5ppm의 NO₂ 농도에서 감도 값은 72이었다.

The SnO₂ thin films doped with Pd and CNT as NO₂ gas sensor were prepared by spin coating and then the NO₂ gas response of these films were evaluated under 1ppm~5ppm NO₂ concentration and operating temperature of 200℃. It was found that the sensor resistance was increased with NO₂ exposure and NO₂ concentration. The 3wt% Pd doped sample showed a sensitivity of 26.5 which was 10 times higher than that of pure SnO₂. And also the sensitivity of CNT doped sample increased with CNT content and it had 72 when 0.225 wt% of CNT was added under 5ppm NO₂ concentration.