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KCI등재 학술저널

2단계 스퍼터링으로 형성시킨 강유전 박막의 누설전류 개선

2단계 스퍼터링으로 강유전 PZT 박막을 형성시켜 유전특성과 전도기구를 조사하였다. 또한 PZT 박막 내의 carrier를 보상해주기위해 도너 불순물을 도핑하였다. 2단계 스퍼터링으로 상온층 두에를 조절하여 누설전류를 10⁻⁷A/cm² order까지 줄일 수 있었다. 전도기구가 bulk-limited의 하나임을 확인하였고 따라서 적정한 도너 불순물을 채택하였다. 도너 불순물을 도핑한 경우 2단계 스퍼터링한 PZT 박막의 누설전류 특성은 10⁻⁸A/cm² order까지 개선되었다.

I. 서론

II. 실험 방법

III. 결과 및 고찰

IV. 결론

감사의 글

참고문헌