최적가용기법 분석 및 연구사례조사: 반도체 업종 배출오염물질 저감을 목표로

Best Available Technology (BAT) analysis and Case studies: For Reduction of Emission Pollutants in Semiconductor Industry

산업시설 내 배출시설 등 방지시설의 설계, 설치, 운영 및 관리에 관한 환경관리기법인 최적가용기법(BAT)은 오염물질 배출을 가장 효과적으로 저감할 수 있고 기술적, 경제적으로 적용가능한 기법으로 최근 국내에서 도입하여 법령으로 실시하고 있다. 이에 대해 본 연구는 국내외 반도체 업종의배출오염물질 저감을 위한 오염물질 매체별 최적가용기법에 대해 사례조사를 진행하였다. 반도체 업종은 고농도의 화학물질들이 오염물질로 배출되고 있고 그 매체 또한 다양하므로 기존의 단일공정처리법으로는 한계가 있다. 이에 대해 현재 국내 반도체 업종에서 사용하고 있는 최적가용기법은 대기오염물질은 전기히터식과 습식 기법인 POU Scrubber 혼합 사용 기법을, 수질오염물질은 응집침전처리법인 물리화학적처리 기법을, 그리고 폐기물오염물질에 대해서는 재이용-재활용 방법 또는 위탁처리 시행하고 있는 것으로 조사되었다. 또한, 본 연구에서는 기존 처리방식의 단점을 개선을 위해 연구된 매체별 오염물질 처리 기술의 경향에 대해서 사례 연구를 진행하였다. 따라서 해당 연구를 통해, 현재 반도체 업종에서의 최적가용기법 활용 및 연구 현황을 살펴볼 수 있어 실제 산업 현장과연구 분야에서 도움이 될 수 있을 것으로 기대된다.