전문잡지
VCSEL 기술을 기반으로 한 9.6kW급 레이저 웨이퍼 히팅 시스템
- 한국레이저가공학회
- Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)
- 2022 NOVEMBER Vol.25, No.11
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2022.1112 - 17 (6 pages)
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1. 웨이퍼 가열의 과제
2. VCSEL 가열 시스템
3. The VCSEL 웨이퍼 가열 솔루션
4. 웨이퍼 가열 실험 장치
5. 실리콘 웨이퍼 가열
6. 결론
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