학술대회자료
반도체 제조 공정 Sub Duct 내 발열 사고 원인규명을 위한 실험적 연구
Experimental Study on Identifying the Cause of the Thermal Runaway Accident in the Sub Duct during the Semiconductor Manufacturing Process
- 한국화재소방학회
- 한국화재소방학회 학술대회논문집
- 2024년도 춘계학술대회 논문집
- 2024.04
- 158 - 158 (1 pages)