학술대회자료
PE-CVD 장비 효율 향상을 위한 Heater 온도 최적화 방법에 대한 연구
Research on Heater Temperature Optimization for Efficiency Enhancement of PE-CVD Equipment
- 한국산업기술융합학회(구. 산업기술교육훈련학회)
- 한국산업기술융합학회 학술대회 논문집
- 2024년 전반기 학술대회 논문집
- 2024.05
- 57 - 60 (4 pages)