전문잡지
'노광 한 번으로 초미세 회로를' 아이멕·ASML, 차세대 EUV 성능 구현
- 한국레이저가공학회
- Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)
- 2024 AUGUST Vol.27, No.8
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2024.0826 - 27 (2 pages)
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