대향 타겟형 스퍼터링 장비를 이용하여 증착한 Fe박막의 자기적 특성과 미세구조에 대한 조사

Investigation of Magnetic Properties and Microstructure of Fe Thin Films Deposited using TFT Sputtering Apparatus

일반적으로 박막을 증착하는 동안에 islands가 형성되어 성장하면 표면확산이 제한된 조건에서 columnar structures가 형성된다. 이와 같은 주상구조는 박막의 물리적 특성에 영향을 미치게 된다. 본 연구에서는 자기적 특성과 관련하여 Fe박막 주상과 Fe-based 다층박막 구조의 특징을 조사하였다. 박막 평면에서 주상의 비대칭적인 형상과 배열이 관찰되었다. 이러한 구조는 제한된 표면확산 증착조건에서 형성되며, 다층박막에서 이와 같은 주상구조는 융점 및 두께 비율이 다른 구성 금속의 조합과 관련이 있다는 결론을 도출하였다.

In general, the formation and growth of islands during the deposition of thin films leads to the formation of columnar structures under conditions of limited surface diffusion. These columnar structures will affect the physical properties of the film. In this work, we investigated the characterization of Fe thin film columns and Fe-based multilayer thin film structures with respect to their magnetic properties. An asymmetric shape and arrangement of columns in the thin film plane was observed. It was concluded that these structures are formed under confined surface diffusion deposition conditions and that such column structures in multilayer thin films are related to the combination of component metals with different melting points and thickness ratios.