전문잡지
EUV 리소그래피 최고의 기술에 관한 5가지 사실
- 한국레이저가공학회
- Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)
- 2024 OCTOBER Vol.27, No.10
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2024.1010 - 11 (2 pages)
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1. EUV 리소그래피(lithography)란?
2. EUV 리소그래피 작동 방식
3. EUV 리소그래피가 필요한 이유
4. TRUMPF의 역할
5. EUV 리소그래피 시스템 제조업체
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