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한국환경에너지공학회 한국환경에너지공학회 학술대회지 2015년 추계학술발표회 Semi Process gas treatment using Thermal Plasma
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학술저널

Semi Process gas treatment using Thermal Plasma

Semi Process gas treatment using Thermal Plasma

공학 환경공학

1. Semi Process gases？ PFCs

2. Type of Thermal Plasma generation

3. Development and Commercialize

4. Thermal Plasma Scrubber

5. Apparatus composition

6. Valuation(SMIC/SUNTECH/INOTERA)

7. Numerical calculation(Torch/Chamber)

8. Thermodynamic consideration

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