학술저널
반도체 공정에서 배출되는 폭발성가스 처리효율 향상을 위한 플라즈마 토치 형상 개선
- 한국환경에너지공학회
- 환경에너지공학
- 제13권 제1호
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2016.061 - 7 (7 pages)
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Ⅰ. 서론
II. 재료 및 방법
III. 결과 및 고찰
IV. 결론
참고문헌
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