MEMS 기술 및 소자의 국제 표준화 동향 연구

Recent Trend of International Standardization for MEMS Devices and Technology

최근 IoT, Al 및 웨어러블 기술이 미래 첨단 기술로 등장함에 따라 센서 기술의 중요성이 크게 부각되고 있다. 특히, MEMS(Microelectromechanical Systems, 초소형 전기기계소자) 기술을 이용한 스마트 센서는 저전력, 소형화 및 저가격의 여러 장점으로 인해 매우 빠르게 발전하고 있다. 따라서 10 년 내에 전 세계적으로 1 조 개이상의 센서가 필요할 것으로 예상하고 있다. 또한 MEMS 기술의 빠른 발전과 함께 MEMS 기술의 표준화 요구도 크게 증가하고 있다. 1990년도에 MEMS 기술의 상용화가 시작되면서 MEMS 기술의 표준화를 위한 다양한 노력이 이루어졌다. 그러나 MEMS 소자 및 제조 공정의 다양성과 복잡성으로 인하여, MEMS 기술의 표준화는 매우 복잡하고 어려운 것으로 알려져 있었다. 본격적인 MEMS 기술의 표준화는 2008년 국제표준화 기구인 IEC에 SC 47F 위원회가 설립하면서 시작되었다. 최근에는 센서의 중요성으로 인하여 SEMI 및 IEEE와 같은 여러 기관 및 기업에서도 MEMS 표준화를 적극적으로 추진하고 있다. 본 연구에서는 주로 IEC의 표준화 활동을 중점으로 최근 진행되고 있는 MEMS 기술의 국제 표준화 및 국내 표준화 동향을 고찰하였다. 이를 통하여아직 기술 및 산업적으로 미약한 국내 센서 산업의 역량을 강화할 수 있는 방안을 제시하고자 하였다. 향후 국내의 MEMS 산업의 발전은 차세대 센서 분야인 바이오, 환경, 웨어러블 센서에 집중하고, 특히 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기술이 필요하다. 한국의 MEMS 산업의 경쟁력 강화를 위하여 산업계와 학계가 공동으로 이와 관련된 국내의 MEMS 표준화의 개발이 시급하다고 하겠다.

As IoT, Al, and wearable technologies are emerged as a future technology, the importance of the sensor technology draws a great attention. In particular, smart sensors using MEMS (microelectromechanical systems) technology have been rapidly developed due to several advantages of low power, small size, and low cost. Therefore, it was expected that more than 1 trillion sensors will be required worldwide within 10 years. Along with the rapid development of the MEMS technology, the requirements of standardization for the MEMS technology also keep rapidly increasing. As commercialization of the MEMS devices has began in the 1990s, various efforts for the MEMS standardizations has been made. However, due to the diversity of the MEMS devices and fabrication processes, the standardization of the MEMS technology has been known to be very complicated and difficult. The standardization of the MEMS technology has began in 2008 with the establishment of the SC 47F committee in IEC. Several organizations such as SEMI and IEEE are also actively promoting MEMS standardization. In this study, we reviewed the recent trends of the international and Korea standardization of the MEMS technology. It is necessary to strengthen the capabilities of the domestic sensor industry, which is still technologically and industrially weak. The future development of the domestic MEMS industry should be focus on the next-generation sensors such as bio, environment, and wearable sensors, and in particular, technologies that can improve MEMS reliability are required. In order to strengthen the competitiveness of Korea s MEMS industry, it is urgent for the industry and academia to jointly develop the related domestic MEMS standardization.