학술저널
니켈 함금 열용사 코팅을 적용한 반도체 스크러버 챔버의 내구성 향상 연구
Study on improvement of durability of semiconductor scrubber chamber using thermal spray coating
- 한국환경에너지공학회
- 한국환경에너지공학회 학술대회지
- 2019년 추계학술발표회
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2019.11149 - 149 (1 pages)
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